EUV-Spiegelinterferenzlithografie
PSI-Forscher zeigen, wie Chips noch kleiner werden könnten
Am Paul Scherrer Institut haben Forschende die Fotolithografie weiterentwickelt. Mit einer neuen Vorgehensweise bei der Bestrahlung wollen sie die Miniaturisierung von Chips weiter vorantreiben. Noch ist der Ansatz für die Industrie nicht relevant, doch wird 2025 die Forschung fortgeführt.